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盛美上海5月16日在投资者互动平台表示，目前公司PECVD设备仍处于验证阶段。该产品在工艺上具备与国际一流公司相竞争的差异化技术创新，能够同时满足更均匀、更少颗粒、更小的薄膜应力的要求，具备较好的市场开拓潜力。公司正在与多家客户洽谈DEMO订单。

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